氦質譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏
氦質譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東某客戶生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應用于 CVD 設備.
真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單獨進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
上海伯東銷售維修氦質譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.
型號 | ASM 340 W | |
對氦氣的最小檢測漏率 | 5E-13 Pa m3/s | |
檢測模式 | 真空模式和吸槍模式 | |
檢測氣體 | 4He, 3He, H2 | |
啟動時間 min | 3 | |
對氦氣的抽氣速度 l/s | 2.5 | |
進氣口壓力 hPa | 25 | |
前級泵抽速 m3/h | 油泵 15 | |
重量 kg | 56 |
結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>
鑒于客戶信息保密, 若您需要進一步的了解氦質譜檢漏儀, 請聯(lián)絡上海伯東葉女士 107
現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡上海伯東 葉女士 107
上海伯東版權所有, 翻拷必究!
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。