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氦質譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏

2023年04月06日 10:44 來源:伯東企業(yè)(上海)有限公司

氦質譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東某客戶生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨檢漏外, 整個配氣面板也需要測試整體漏率, 使用上海伯東德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應用于 CVD 設備.

真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件等單獨進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
氦質譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏
2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
氦質譜檢漏儀真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東銷售維修氦質譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點.

氦質譜檢漏儀 ASM340

型號

ASM 340 W

對氦氣的最小檢測漏率

5E-13 Pa m3/s

檢測模式

真空模式和吸槍模式

檢測氣體

4He, 3He, H2

啟動時間 min

3

對氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

進氣口壓力 hPa

25

前級泵抽速 m3/h

油泵 15

重量 kg

56


結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術優(yōu)勢, 上海伯東德國 Pfeiffer 推出全系列新型號氦質譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺式檢漏儀滿足各種不同的應用. 氦質譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質譜檢漏儀應用 >>

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