手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 真空鍍膜配氣面板檢漏
氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 真空鍍膜配氣面板檢漏
上海伯東某客戶(hù)生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門(mén), 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實(shí)現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門(mén), 接頭, 管件需要單獨(dú)檢漏外, 整個(gè)配氣面板也需要測(cè)試整體漏率, 使用上海伯東德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設(shè)置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應(yīng)用于 CVD 設(shè)備.
真空鍍膜配氣面板檢漏
1. 不銹鋼減壓閥門(mén), 接頭, 管件等單獨(dú)進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
2. 組裝后的真空鍍膜配氣面板, 整體再次進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5.5x10-10 Pa m3/s
上海伯東銷(xiāo)售維修氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn).
| 型號(hào) | ASM 340 W |
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率 | 5E-13 Pa m3/s | |
檢測(cè)模式 | 真空模式和吸槍模式 | |
檢測(cè)氣體 | 4He, 3He, H2 | |
啟動(dòng)時(shí)間 min | 3 | |
對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s | 2.5 | |
進(jìn)氣口壓力 hPa | 25 | |
前級(jí)泵抽速 m3/h | 油泵 15 | |
重量 kg | 56 |
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東德國(guó) Pfeiffer 推出全系列新型號(hào)氦質(zhì)譜檢漏儀, 從便攜式檢漏儀到工作臺(tái)式檢漏儀滿足各種不同的應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏, 利用氦氣作為示蹤氣體可定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 推薦氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用 >>
鑒于客戶(hù)信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解氦質(zhì)譜檢漏儀, 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 羅先生
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類(lèi)作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
最新產(chǎn)品
采購(gòu)中心